歴代所長
超短波研究室(1941.1-1943.1)
超短波研究所(1943.2-1946.3)
応用電気研究所(1946.4-1992.4)
| 初代 | 1946.4-1946.9 | 蓑島 高 |
| 第2代 | 1946.9-1946.7 | 浅見 義弘(瑞宝単光章1968) |
| 第3代 | 1960.8-1960.7 | 東 健一(瑞宝単光章1975) |
| 第4代 | 1963.8-1963.3 | 松本 秋男(旭日重光章1980) |
| 第5代 | 1970.4-1973.3 | 望月 政司(瑞宝単光章1996) |
| 第6代 | 1973.4-1976.3 | 馬場 宏明 |
| 第7代 | 1976.4-1979.3 | 吉本 千禎(瑞宝単光章1989) |
| 第8代 | 1979.4-1982.3 | 馬場 宏明(紫綬褒章1985，瑞宝単光章1993) |
| 第9代 | 1982.4-1985.3 | 山崎 勇夫 |
| 第10代 | 1985.4-1988.3 | 達崎 達(旭日重光章2002) |
| 第11代 | 1988.4-1992.4 | 安藤 毅 |
電子科学研究所(1992.4-)
| 第11代 | 1992.4-1994.3 | 安藤 毅 |
| 第12代 | 1994.4-1997.3 | 朝倉 利光(紫綬褒章1996，瑞宝中綬章2009) |
| 第13代 | 1997.4-2001.3 | 井上 久遠 |
| 第14代 | 2001.4-2003.3 | 下澤 楯夫 |
| 第15代 | 2003.4-2003.9 | 八木 駿郎 |
| 第16代 | 2003.10-2005.9 | 西浦 廉政 |
| 第17代 | 2005.10-2009.9 | 笹木 敬司 |
| 第18代 | 2009.10-2013.9 | 三澤 弘明 |
| 第19代 | 2013.10-2017.3 | 西井 準治 |
| 第20代 | 2017.4-2021.3 | 中垣 俊之(イグノーベル賞2008，2010) |
| 第21代 | 2021.4-2025.3 | 居城 邦治 |
| 第22代 | 2025.4-現在 | 太田 裕道 |
名誉教授
山崎 勇夫
安藤 毅
朝倉 利光
小山 富康
永井 信夫
八木 駿郎
狩野 猛
下澤 楯夫
下村 政嗣
伊福部 達
栗城 眞也
上田 哲男
太田 信廣
末宗 幾夫
三澤 弘明
西井 準治
笹木 敬司
石橋 晃
