ナノコーティングリソグラフィーによる金属ナノ構造の大面積作製とその機能化

現在様々な手法によってナノメートル程度の厚みしかない薄膜が作製可能となってきた。その膜厚制御精度は、ナノメートル以下の精度をもつものもある。我々はこの高いサイズ精度を平面分解能に「変換」し、様々なナノ構造体の大面積作製（ナノコーティングリソグラフィー）に成功してきた。本発表では、特にナノコーティングリソグラフィーにより大面積作製された金属ナノ構造体に焦点を絞り、サイズ・形状制御による光学・電気・磁気機能化についてご紹介する。

上記のとおり講演会を開催致しますので、皆様奮ってご参加下さい。